半导体
行业概述
PEEK材料在半导体制造领域具有不可替代的地位。凭借卓越的耐高温性能（260°C+）、极低的释气率、高纯度低金属离子含量以及优异的耐等离子体腐蚀能力，PEEK已成为晶圆制造设备中关键零部件的首选材料。
应用案例
CMP保持环
化学机械抛光工艺中的关键消耗件，要求耐磨损、耐浆料腐蚀、低颗粒产生
光照盒
光刻设备照明系统的核心腔体部件，要求低释气、耐紫外辐照、高尺寸精度，确保光路稳定与洁净度
绝缘固定环
刻蚀与沉积设备中的绝缘支撑件，要求耐等离子体腐蚀、高绝缘性、低释气，维持腔体电场稳定
测试基座
IC老化测试与功能测试中的芯片承载基座，要求耐高温、高绝缘、低释气，保障测试接触稳定性
